專用圖形發(fā)生器組成：
高速數字信號處理器（DSP）；
高精度圖形數據采集器；
先進、快速的SCSI接口帶有溫控的16位數模轉換器（D/A）5”液晶跟蹤顯示器（LCD）控制用PC計算機（Windows操作系統(tǒng)）；
專用圖形發(fā)生器軟件功能：
接受GDSⅡ、CIF和DXF圖形數據格式；
繪圖功能（矩形、三角形、梯形、圓形、圓環(huán)、扇 形和任意曲線圖形）；
加工過程控制（曝光、工件臺移動、束閘通斷）；
掃描場位置、尺寸和旋轉修正；
標記檢測與位置修正；
鄰近效應修正；
加工過程跟蹤顯示；
